高精度:位置 +/-5um; 角度 +/-0.1°
多芯片:全自动更换晶圆,顶针,吸嘴
高柔性:模块化,支持多种吸取固晶方式,机构模组硬件升级更换灵活
高性能:全自动标定,全自动检查,持续监控机器运行情况,易于使用及恢复处理
高稳定性:具有高可靠性和稳定性,能够保证系统长时间稳定运行
可编程:具有高度可编程性,能够根据不同应用需求进行灵活配置扩展新功能
灵活的通信接口:支持多种通信接口,能够与其他设备或系统进行数据交换和通信
产品咨询电话:13811928592(毛总)产品咨询邮箱:jian.mao@incubecn.com
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